英文缩写:PECVD
英文全文:plasma enhanced chemical vapor deposition
中文解释:等离子增强的化学蒸发沉积
缩写简介:一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。
所属行业:化学化工
其他解释:暂无其他解释
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