等离子增强的化学蒸发沉积的英文缩写(PECVD)，PECVD缩写的意思、英文全称、中文解释

英文缩写：PECVD

英文全文：plasma enhanced chemical vapor deposition

中文解释：等离子增强的化学蒸发沉积

缩写简介：一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。

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